无油真空泵的工作原理及应用领域

无油真空泵又名无油干式真空泵，属于干式真空泵，（又简称干式机械泵）
    从上一次的全球峰会，到近日的国家两会，走在提出：低碳、环保。节能的环保理念。油润滑真空泵的使用会排出一定的二氧化碳和废气。在真空行业中，我们都建议使用干式泵

    工作原理
    无油真空泵由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。
    无油真空泵常见应用领域：
    1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
    2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
    3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
    4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
    5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。